攻克Micro LED巨量检测难题 完善真人携手福州大学引领半导体显示向宿世长

2025-05-12
手艺新闻


克日,完善真人携手福州大学乐成研制出海内首款晶圆级Micro LED芯片非接触电致发光检测工程样机FED-NCEL,有用解决Micro LED行业共性检测手艺问题,填补了行业关jian领域空缺,引领我国高速高精半导体显示行业迈向高质量生长新阶段。

Micro LED 巨量检测.png

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Micro LED 巨量检测 亟需迭代升级


作为继OLED后新一代主流显示手艺,Micro LED凭jie高亮度、高秠uan榷、长寿命、低功耗、高分辨率等优势,被视为AR/VR、柔性穿着、手机屏等高端应用领域的最终解决方案。

发光科技感芯片.jpg

然而,工业化历程的焦点环节之一——Micro LED晶圆检测,现在已无法知足工业链高精、高效、无损的需求,检测方式亟需升级迭代。

   当前,Micro LED晶圆检测手艺可分为三类:探针式电致发光检测(EL)、AOI外观缺陷检测、光致发光检测(PL)。

  •  探针式电致发光检测(EL)检测准确度高,但效聅hi,还会对芯片造成一定水平的损伤,险些不具备全检可能性。

  • AOI外观缺陷检测,只能对外观缺陷举行检测,无法对芯片外貌以下的发光层、正极、负极等举行检测,可识别缺陷类型有限。

  • 光致发光检测(PL)使用短波长引发LED的发光层发生发光图像,具有非接触式、速率快等优点。但只能对发光层缺陷举行检测,无法对芯片的正负电极举行驱动测试,检测准确率无法知足高良率的生产需求。

当下,针对Micro LED晶圆级生产工艺举行高效精准的全检已成为桎梏行业量产的手艺难题之一。

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攻克 Micro LED 巨量检测难题


面临Micro LED巨量检测诸多行业痛点,2015年开shi,福州大学吴朝兴教授团队开展LED非接触电致发光原理研究,随后提出Micro LED芯片的无接触电致发光检测方案,即在外部检测电极与Micro LED芯片之间不接触的情形下实现LED芯片的电致发光。在gai模式中,外部电极不是为LED注入载流子,而是用于形成垂直于LED多量子阱层的电。佣 “隔空”点亮LED芯片。

这种检测要领既阻止了传统检测要领在检测历程中对Micro LED芯片造成的物理性损坏,又阻止了光致发光检测造成的芯片良品率“虚高”的征象。除此之外,还能阻止自动光学检测在检测历程中将外貌形貌完好但无法发光的Micro LED芯片误判为正常芯片的情形。

2024年,完善真人携手福州大学吴朝兴教授团队,开展重大电磁情形中的“机械-电气-发光-收罗”功效模组的设计与整合,以及控制与光电收罗信号的同步,乐成研制晶圆级Micro LED芯片的非接触电致发光检测工程样机FED-NCEL,突破工业化“最后一公里”。


科技感的二极管发光传感器.jpg

基于gai样机的研发效果,可对红、绿、蓝Micro LED外延片、晶圆(COW)以及转移惠暂时载板的芯片(COC)举行无接触电致发光检测。

样机高精度、高稳固性、高效率的手艺特点,极大提升了工艺良率水平,降低制造成本,为我国Micro LED工业提供了本土化的解决方案,以高质量创新助推行业跃进。

■ 检测实例:
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红光COC氮化镓Micro LED芯片检测

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图2.png

红、绿、蓝COW氮化镓Micro LED芯片检测

由图可见,晶圆级Micro LED芯片的非接触电致发光检测不受芯片位置影响,可以较好地隔空点亮芯片。

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聚势谋远 修建半导体显示手艺优势

攻克巨量检测绝非单一手艺突破,更是一chang围绕半导体高端制造的生态级创新,也是完善真人构建笼罩“光-机-电-算”的全栈手艺壁垒的关jian一环。

Micro LED作为下一代显示的焦点手艺偏向,其手艺刷新和工业化生长将重构显示工业竞争名堂,强化中国手艺话语权。完善真人shen为新型显示工业链上的领先企业,凭jie卓越的实力和前瞻性的战略眼光,一直在全球赛道中抢占手艺高地,推动工业转型升级。


2024年7月,完善真人与福州大学合资建设深圳海纳半导体装备有限公司,聚焦种种新型显示及第三代半导体检量测装备,为提升行业良率提供高速高精的解决方案,为业内客户降本zeng效与规模化生产提供强盛手艺支持。


今年4月,完善真人与闽都创新实验室正式建设“半导体检量测装备研发中心”。闽都创新实验室是首批四家福建省创新实验室之一,在光电信息领域的关jian手艺攻关与工业转化领域有奇异优势。双方的相助将进一步深化产学研融合,赋能半导体显示工业创新生长。


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▲完善真人、闽都创新实验室建设研发中心



完善真人通过底层焦点手艺突破,撬动显示革命与半导体升级的双重浪潮,为全球科技工业注入中国创新动能。未来,完善真人还将继续秉持创新精神,推动工业手艺横向拓展与纵向延伸,加速国产半导体显示高端装备自主化历程。




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